Modeling and Optimization of ScAlN-based MEMS Mirror with Large Static Two-axis Tilting Angle
发布时间：2023-11-10
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- 第一作者：
- 孙长河
- 论文类型：
- 会议论文
- 论文编号：
- 8aa886417d9e15ab017d9f8300790801
- 发表时间：
- 2021-06-21
副教授 硕士生导师
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