Modeling and Optimization of ScAlN-based MEMS Mirror with Large Static Two-axis Tilting Angle
发布时间：2023-11-10
点击次数：
- 所属单位：
- 电子信息与电气工程学院
- 发表刊物：
- Proceedings of the 16th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, NEMS 2021
- 第一作者：
- 孙长河
- 论文类型：
- 会议论文
- 论文编号：
- 8aa886417d9e15ab017d9f8300790801
- 发表时间：
- 2021-06-21